ALICAT 低压损流量控制器 21W系列-深圳市天铉真空技术有限公司手机版

详细介绍

应用及案例

● 低温容器检测

● 大学/研究所

● 泄漏检测

● 环境监测

● 汽车制造

● 过程工艺气体测量

产品特色

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数可控：质量流量、体积流量和压力

● 可选高精度：可优于0.5%

● 可测范围广，0.01~99%

● 满量程超低压损为360Pa

● 阀门响应时间快，优于100ms

● 内置98种气体

● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

精度升级

量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差

± 0.01% 满量程 / Atm压力差

质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃温差

± 0.1 % 读数 / Atm压力差

性能指标

介质要求非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类内置了98种气体，请参考气体兼容表

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

测量和控制范围 0.01～99%

显示流量 128 %满量程

可控流量 102.4 % 满量程

显示屏带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度 ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）见上段精度升级部分

±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）

累计流量精度流量精度之外增加±0.5%额外误差

重复性 ±（0.2 %读数+0.02 %满量程）

质量流量温度漂移 0.03%满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃

质量流量压力漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar

响应时间优于100 ms

预热时间＜ 1 s

标定工况 25 ℃ & 1Atm（可现场在测量范围内随意更改）

工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温至100℃）

温度精度 ± 0.75 ℃

工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝

工作压力 0.3 MPa表压，进出口允许瞬时压差70 Kpa

操作压力如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

压力精度 ± 0.5 %读数（读数＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

满量程压损参考详细压损表

数据刷新频率数字信号40 Hz@19200波特率；

模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率 10 Hz

数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压 7 - 30 VDC （如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC ）

供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）；额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率（外漏）选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

过程连接详情参考压损表

安装方式对位置无要求

防护等级 IP40

认证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询

选项配件

待更新。

安装手册

待更新。

机构认证

待更新。

尺寸详图

尺寸图低段.png

尺寸压损

满量程质量流量控制器	满量程压损¹（psid）排气到大气中	外观尺寸	连接接口²
0.5 sccm - 2 sccm	0.06	3.9''H x 3.4''W x 1.1''D	M-5 （10-32）内螺纹（含M-5 （10-32）外螺纹Buna-N O型密封圈至1/8'' NPT内螺纹）
5 sccm - 10 sccm	0.08
20 sccm	0.07
50 sccm - 200 sccm	0.07	4.1''H x 3.6''W x 1.1''D	1/8'' NPT 内螺纹
500 sccm	0.08
1 slpm	0.10
2 slpm	0.18
5 slpm	0.10	5.5''H x 7.7''W x 2.3''D	1/4''NPT内螺纹
10 slpm	0.12
20 slpm	0.26
40 slpm	0.14	5.5''H x 7.7''W x 2.3''D	1/2'' NPT 内螺纹
50 slpm	0.17	5.5''H x 7.3''W x 2.3''D	3/4'' NPT 内螺纹
100 slpm	0.30
250 slpm	0.69
500 slpm	0.69	5.5''H x 8.1''W x 2.7''D	3/4'' NPT 内螺纹
1000 slpm	1.65	6.3''H x 9.8''W x 4.5''D	2'' NPT 内螺纹
1、公制当量见图纸。 2、与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容。

产品大图

质量流量控制器-低压损-MCW-21W.png

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