量程10 SCCM-3000 SLPM，优于2 %的精度，控制范围广，优于100 ms响应时间，适用于高压应用

21Q系列气体质量流量控制器，同我们的标准控制器一样，能对需要较高管线压力（160-320 psia）的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能够快速实现稳定控制。

应用及案例

● 大学/研究所 ● 环境监测

● 真空行业及镀膜 ● 工业炉窑

● 半 导 体 ● 汽车制造

● 光 伏 ● 燃料电池

● 计量校准 ● 过程工艺气体测量

产品特色

● 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER?气体编辑器确定自己的气体组成。

● 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

● 耐用。21Q系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。

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精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取值）

测量和控制范围 0.1 ~ 99%满量程

重复性 ± 0.1%满量程

质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差

± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃温差

± 0.1 %读 数/ Atm压力差

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性能指标

介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量 程 从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）

测量和控制范围 0.5% ~ 99%满量程

显示流量 高达128%满量程（取决于气体）

可控流量 102.4%满量程

显 示 屏 带集成触摸板的单色LCD或彩色TFT显示器

显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度

精 度 ± 2%满量程 精度升级见上段

重 复 性 ± 2%满量程

零点漂移&满量程漂移 0.02% 满量程/ ℃/ Atm

响应时间 优于100 ms

预热时间 ＜1s

标定工况 25 ℃&1Atm（其它标况可调）

工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至100℃）

温度精度 ± 0.75℃

工作湿度 0 ~ 99%

工作压力 320 psia

满量程压损 参考详细压损表

数据刷新频率 数字信号40Hz@19200波特率；

模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率 10Hz

数字输入/输出信号 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA输出）

供电电流 0.250 A

电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材 质 303和302不锈钢、Viton?、热固化硅橡胶、玻璃增强聚苯硫醚、热固化环氧树脂、铝、金、黄铜、430FR 不锈钢、硅、玻璃。如果您申请需要其它材料，请联系我们。

过程连接 详情参考压损表

安装方式 对位置无要求

防护等级 IP40

认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询

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选项配件

（需另行订购）

● 过程端口接头和过滤器

● 电源

● 通讯线缆和转换线缆

● BB3和BB9多点式集线盒

● Flow Vision软件

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包装清单

● MCQ系列高压气体质量流量控制器（电源需另行订购）

● NIST可溯源校准证书

● 艾里卡特操作说明书

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尺寸详图

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尺寸压损

满量程质量流量控制器	满量程压损（PSID） 排气到大气中	机械尺寸1	过程连接2
10 SCCM ~ 50 SCCM	1.0	4.4''H x 3.4''W x 1.1''D	M-5 （10-32）（内螺纹）
100 SCCM ~ 500 SCCM	1.0	4.6''H x 3.6''W x 1.1''D	1/8'' NPT 内螺纹
1 SLPM	1.5
2 SLPM	3.0
5 SLPM	2.0
10 SLPM	5.5
20 SLPM	20.0
50 SLPM	9.0	5.7''H x 7.7''W x 2.3''D	1/4'' NPT 内螺纹
100 SLPM	2.6
250 SLPM	4.6	6.0''H x 7.7''W x 2.3''D	1/2'' NPT 内螺纹
500 SLPM	6.5	6.0''H x 7.3''W x 2.3''D	3/4'' NPT 内螺纹 （A 1-1/4” NPT 内螺纹可选过程连接 可用于2000 slpm 流量计）
1000 SLPM	14.0
1500 SLPM	17.0
2000 SLPM	28.6	6.0''H x 8.1''W x 2.9''D
3000 SLPM	16.8	6.0''H x 8.9''W x 2.9''D	1-1/4'' NPT 内螺纹
注1、公制数据见图纸； 2、与Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容，也可根据要求连接VCR和SAE。 3、与M-5 （10-32）外丁腈橡胶O形圈表面密封至1/8''NPT内螺纹接头一起装箱。

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产品大图

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