SEC-N112 数字式质量流量控制器-深圳市天铉真空技术有限公司手机版

详细介绍

概要

基于多年来技术产品的市场发展经验，我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。
气体被广泛地运用于各种工业领域，从太阳能电池、燃料电池的研究和制造，这一获得巨大关注的再生能源项目得到了各地的支持；到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管（LED）的研究和制造。在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显着地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，为的制造工艺，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求。

型号

10sccm	10SLM	20SLM	100SLM	200SLM
SEC-N102	SEC-N112	SEC-N122	SEC-N132	SEC-N142
SEC-N104	SEC-N114	SEC-N124	SEC-N134	SEC-N144
SEC-N106	SEC-N116	SEC-N126	SEC-N136	SEC-N146

特征

HORIBA STEC可以提供满足您需求的全套产品。

型号	选择信号传输模式	选择电源
SEC-N102 系列	数字式信号传输 ?RS485 F-NET协议模拟式信号传输 ?0～5VDC	±15VDC (±5%) HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的电源产品。
SEC-N104 系列	DeviceNet 信号传输	遵照ODVA标准
SEC-N106 系列	PROFIBUS 信号传输模拟式信号传输 ?0 至 5VDC, 0 至 10VDC　4 至 20mA	遵照PROFIBUS标准 24VDC(13 to 32VDC)

此型号适合各种小流量到大流量的需要。

流量控制范围为标定满量程的2～99%

高精度

■高精度（设定点为基准）MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高，各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

整个流量控制范围内都可实现高响应速度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可变PID运算法则：1秒高速响应 SEC-N100 系列搭载了开发的“可变PID系统”，对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时，可变PID将根据当下的设定点不断变化，其PID参数也将随之被优化。

多气体、多量程的解决方案

■专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力 的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。

致力于成本考量，运用新的设计概念

作为N100系列的替代，HORIBA STEC也可以提供具备超洁净处理以及压电陶瓷阀门的Z500系列产品。请注意，在没有通知的情况下，可能会对某些需要提高生产率的部件和产品工艺做出修改，但不会牵涉到改变产品的规格。

产品简介