SEC-8000 高温质量流量控制器

SEC-8000 高温质量流量控制器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-10-14 16:08:55
543
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深圳市天铉真空技术有限公司

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产品简介

概要质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备

详细介绍

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

  • 适用于高温：可满足150℃烘焙
  • 产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
  • 超清洁类型：接气部全不锈钢构造
  • MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

规格

 

SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80?100℃

SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭载
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100?120℃

SEC-8440LSL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15?35℃

SEC-8450LSL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15?35℃

SEC-8455LSL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15?35℃

SEC-8460LSL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

50/100 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：15?35℃

SEC-8440LSM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35?60℃

SEC-8450LSM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35?60℃

SEC-8455LSM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35?60℃

SEC-8460LSM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

50/100 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：35?60℃

SEC-8440LSH
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60?80℃

SEC-8450LSH
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60?80℃

SEC-8455LSH
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

30/50 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60?80℃

SEC-8460LSH
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

50/100 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：60?80℃

SEC-8440SL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80?100℃

SEC-8450SL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80?100℃

SEC-8455SL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80?100℃

SEC-8460SL
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：80?100℃

SEC-8440SM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100?120℃

SEC-8450SM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100?120℃

SEC-8455SM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

10/20 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100?120℃

SEC-8460SM
 

气体接触部材质

SUS-316L

阀门类型

NO: 非通电时：开

标准流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范围

2?100％ F.S.(满量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(满量程) 　使用温度：100?120℃
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