三维13.5nmEUV/SXR复制镜

EUV/SXR准直,聚焦镜

UV聚焦镜

多层膜半反镜

XUV filtersXUV滤光片

XUV高反射率镜

软X射线CCD相机-ALEX成像系列

多层膜偏振镜

XUV filtersXUV滤光片/多层膜半反镜

SXR反射光栅

XUV掠入射反射镜

SiN/SIC膜