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CILAS的可变形反射镜，利用压电材料所有共享相同的属性（PZT）来工作的。他可以精确地控制很小的变形量（亚纳米级）和高响应速度（几百微秒）。
CILAS可以提供两种变形镜可供选择：
●堆栈阵列镜（SAM）：利用正压电效应，每个驱动单元都由一些压电磁盘组成，变形镜的行程是就是由所有压电磁盘的行程之和。
●双晶变形镜（BIM）：所谓单晶（MONO），是利用横向光电响应，在两块机械连接处产生差局部曲率。
变形镜在高功率激光方面的应用：
变形镜是在法国马库锡实验室发明的，后来在几个国防项目中，变形镜主要用在高功率激光光束聚集中。
参 数 型 号 | 通光孔径 | 通道数 | 行程 | 光学性能 | 带宽 |
MONO31-100 LULI | 100mm | 31 | ±14µm（机械性） | 7 nm rms（机械性） | / |
MONO61-75 LOA | 75mm | 61 | ±24µm（机械性） | 5nm rms（机械性） | / |
MONO63-85 AWE | 85mm | 63 | ±30µm（机械性） | 5 nm rms（机械性） | / |
MONO63-50 WARSOW UNIVERSITY | 50mm | 63 | 20µm PV（机械性） | 9nm rms（机械性） | / |
MONO63-30 HZDR | 30mm | 63 | ±15µm PV（机械性） | 8nm rms （机械性） | 850HZ |
变形镜在天文方面的应用：
变形镜在天文方面主要用在天文望远镜方面。
参 数 型 号 | 通光孔径 | 通道数 | 行程 | 光学性能 | 备注 |
BIM19-42 PUEO CFHT | 42mm | 19 | ±10µm（机械性） | / | / |
BIM60-60 MACAO SINFONI - CRIRES | 60mm | 60 | ±30µm PV（机械性） | 10nm rms（机械性） | / |
BIM60-100 MACAO VLTI | 100mm | 60 | ±40µm PV（机械性） | 8.5nm rms（机械性） | / |
BIM60-50 SOAR | 50mm | 60 | ±19µm PV（机械性） | 10nm rms（机械性） | / |
BIM188 NAOJ | 90mm | 188 | ±50µm PV（机械性） | 15nm rms（机械性） | / |
MONO85-34 ISP | 34mm | / | ±16µm（机械性） | 3nm rms （机械性） | 860HZ |
MONO63-30 IOE | 30mm | 63 | ±15µm PV （机械性） | 5nm rms（机械性） |
