uPG 101

uPG 101 是很经济，容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有，微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2，*的紧凑结构，使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统，这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计，生成目录，自动对准和生成曝光。

重要特征选项

最小基板尺寸 6”x 6”

最小庙会尺寸0.6um

最小描绘网格20nm

基本灰度曝光模式

实时自动对焦系统

标准或者紫外二级管激光源

矢量和栅格曝光模式

可交换的写模式

摄像系统的一致性

多种数据输入模式

技术参数