ALPAO高速变形镜

变形镜，又称变形反射镜（DM），主要运用于各种自适应光学系统之中，主要用于校正波前畸变，它由很多驱动单元组合而成，每个驱动单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，变形镜的镜面可以产生需要的形变量，从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司，主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器，到820 个驱动器，行程达80µm，表面质量<7nmRMS，采用目前世界上较*的抛光工艺，表面粗糙度<1nm，变形镜的响应时间只有500us，带宽可以达到2KHz。

ALPAO公司可变形镜

ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%，高线性度>97%。相比于MEMS静电变形镜来说，电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量，更高的调制精度。

主要特点：

• 调制量大：波前相位调制幅度超过80μm

• 稳定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours

· 高动态范围 ：响应时间小于500μs

· 镀膜质量高： R>97% @500nm- 2.0µm

• 表面平整：表面粗糙度 <15Å RMS

• 亚纳米步长精度

• 低磁滞：磁滞误差小于1%

• 单通道相位调制幅度>5.0 µm PTV

法国ALPAO高速变形镜主要型号相关参数如下：