纳米压印系统

Midas推出了一个台式、独立的纳米压印平台。
该平台提供了一个带有微定位装置的机械平台，用于安装纳米压印室、UV固化源和校准显微镜。

它既可以作为纳米压印系统，也可以作为传统的掩模对准器，同时为您的整个压印过程提供可编程的自动控制。


的特点：
•分辨率低于10nm，产率为99%
•支持硬模和软模
•可变的模具和基板尺寸提供了的便利性和灵活性
•自动释放过程可防止分离过程中模具/基板损坏，并限度地提高每个印记的产量
•自动释放过程可防止分离过程中模具/基板损坏，并限度地提高每个印记的产量
•多种应用的多功能流程：
•光学设备、显示器、数据存储、生物医学
•器件、半导体IC、化学合成和*材料
•带触摸屏用户界面的可编程PLC允许通过定制参数进行过程控制
•UV固化纳米压印抗蚀剂对硬度或厚度没有限制，与传统光刻工艺兼容