TPD系统

程序温度脱附控制系统 （TPD）

用于测量超薄薄膜吸附/脱吸的独立系统，能够在较宽温范围内进行高精度温度控制。

• 本底真空1×10^-9 mbar 的 TPD/TDS 腔室（可用于其他组件的备用端口）
• 配备四极杆TDS 40A1热脱附质谱仪（质量范围到200 AMU），Z轴移动以实现探测器定位
• 特别设计的圆锥形采样端件
• 1 轴超高真空操纵器，在宽温范围内具有高精度温度控制（-170°C 至 1200 °C）
• TDS专用 计算机控制的数据采集和处理软件
• 样品传输腔配置两个 PTS 样品夹具
• 从样品传输腔到 TPD 室配置可靠和快速的线性传输系统
• 19" 支撑柜，安装所有的电子部件
• 具有大轮子的可调节刚性大型机，便于系统放置

升级选项

• 操纵器的其他运动轴，并机动化
• 通过精确控制压力，将压力范围从超高真空扩展到 1 atm 的可能性
• 气体注入系统（手动或精确与 PLC 控制）
• 溶剂注入系统
• 致力于在腐蚀性环境中工作的样品夹具
• 样品传输腔室具有加热和 液氮LN₂冷却选项
• 用于样品准备的专用室
• 不同质量范围的残余气体分析质谱仪