MBE系统

带快速进样室的独立 MBE 系统

• 本底真空优于2x10^-10mbar
• 4 轴操纵器，可直接连接电子光束加热至 1200 °C 和 液氮LN₂冷却
• Load-Lock进样室与线性传输杆，使样品夹具传输方便。最多可存储6个样品夹具。
• 沉积室包含用于 RHEED 枪、离子枪、光束通量监视器、石英晶体天平等的端口。
• 可更换底部法兰，带专用起重推车
• 沉积室中可防止交叉污染

样品沉积室配备了用于分析仪器等的其他端口。

根据蒸发源的类型和数量以及基板大小，可提供不同的标准衬底尺寸：直径300mm、直径450mm 和 直径570mm（根据要求的其他尺寸）。