满足大多数需求的灵活用户界面

高级功能是标准配置！

采用的LDMOS场效应管技术，可在半导体和工业镀膜应用中的动态负载下可靠工作。

拥有广泛的功率和频率范围，允许用户在一个平台内满足您的所有需求。

可在广泛的配置（2, 13, 27，40和60MHz；100W至10kW），并配备了行业的组件和子组件，我们射频发生器大限度地提高可靠性和产量。

从高稳定射频平台提高过程控制

可靠性稳健设计，缩短停机时间

易于集成和控制

特征：

高稳定射频

•频率调谐

•电弧管理

•脉冲

•CEX主/从

•CEX相移

•前操作面板

•射频功率放大

射频发生器产品范围：

从毫瓦到几十千瓦的固态

射频管设计从1000W---200kW

频率范围高达350MHz

集成固态和管设计

交直流电源设计

高压、大功率

单相和三相设计

模拟电路设计

控制电路、故障检测、计量等。

信号调节

遥控接口

硬件设计

特定于系统的自定义软件设计

机械包装

自定义CAD/CAM设计

快速成型

应用的设备：

PECVD设备

•PVD/磁控溅射机

•刻蚀设备

•工业镀膜

射频发生器的主要用户：

65kW CW，211MHz，水冷四极管放大器，

--------布鲁克海文国家实验室（BNL），国家同步加速器光源（NSLS）。

55kW CW，176MHz，水冷四极放大器，

-------杜克大学，自由电子激光器（FEL）

4kW CW，52MHz，水冷固态放大器，

-------布鲁克海文国家实验室（BNL），国家同步加速器光源（NSLS）

12个3.5kW CW，196MHz，水冷固态放大器

-------布鲁克海文国家实验室BNL，相对论重离子对撞机（RHIC）

11个500W宽带、1-30MHz、水冷、“A”级射频放大器，

------布鲁克海文国家实验室（BNL）相对论重离子对撞机（RHIC）

6个20kW长脉冲，402MHz，风冷四极放大器

------劳伦斯伯克利国家实验室（LBNL）散裂中子源（SNS）

3个80kW长脉冲，2MHz，风冷四极放大器

-----LBL（SNS）和橡树岭国家实验室（ORNL）的（SNS）

8kW CW，211MHz，水冷固态放大器

------布鲁克海文国家实验室（BNL），国家同步加速器光源（NSLS）

2kW CW，200MHz，风冷固态放大器-------康奈尔大学

20kW CW，27MHz，风冷固态，移动射频发生器-------KAI技术公司

25kW CW，18-32MHz，自动调谐，水冷，四极射频放大器，

------------Joint Institute for Nuclear Research(JINR),，（FlerovLab）

15kW CW，11-12MHz，自动调谐，水冷，三极射频放大器

-------------Joint Institute for Nuclear Research(JINR),（FlerovLab）

4个双300W输出，88-108MHz，用于调频发射机-----NAVAIR Spiral 3项目

12kW CW,101MHz水冷三极射频放大器---------华中科技大学

100kW CW，1.0MHz，水冷，四极射频放大器------华中科技大学

45kW CW，7.2至10.5MHz, 水冷，三极射频放大器--------JINR（弗莱罗夫实验室）

15kW CW，宽带（35-65MHz），固态，水冷射频放大器--------印度ITER

120kW CW，48MHz，水冷，四极射频放大器-------印度的IUAC

30kW CW，97MHz，水冷，三极管射频放大器-----印度的IUAC

3kW CW，13.56射频放大器和匹配网络----印度IPR