飞行时间二次离子质谱

飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS)是一种非常灵敏的表面分析技术。可以广泛应用于物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三维样品的元素，分子等结构信息。

技术参数：
. 并行探测所有离子，包括有机和无机分子碎片。
. 无限的质量探测范围（实际测量中大于1000m/z 原子量单位）。
. *透过率下实现高的质量分辨率。
. *的横向和纵向空间分辨率（横向小于100纳米，纵向小于1纳米）。
. 探测灵敏度可达ppm或ppb量级。
. 质量探测分辨率(M/ΔM) >1000
. 质量探测准确度 ≥20 milli 质量单位
. 反射性分析器
. 5 分钟样品腔真空度可从大气环境达到真空工作环境