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1200℃双温区CVD系统（低真空、高真空）型号：BTF-1200C-II-CVD
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主要特点
可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区)，可预抽真空(有高真空、低真空)，通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵、阀采用进口设备，性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作等特点。在预热方式上设有自动升温预热程序。在程序下不需要操作人员监看、调整工作电流，可将工作人员从繁琐的操作中解放出来。
技术参数
| 输入功率 | 4kw |
| 电源电压 | AC220V |
| 温度 | 1200℃ |
| 工作温度 | 1100℃ |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 温区 | 单温区 |
| 管径长度 | Φ50*1000mm |
| 可移动范围 | 880mm |
| 控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序，可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。 |
| 真空度 | 1pa（机械泵） |
