品牌
经销商厂商性质
合肥市所在地
1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)型号:BTF-1200C-II-CVD
面议双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
面议纳米线生长专用设备
面议碳纳米纤维膜系统 BTF-1400C-CN-80
面议流化床—粉体碳纳米管生长设备
面议连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
面议回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
面议分体式升华设备将热场置于手套箱(简易款)
面议半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(试验级)
面议实验级升华仪BOF-7-100(新款)
面议实验级升华仪BOF-5-50
面议升华仪 BOF-7-100
面议 石英导气管 | 测温热电偶 |
主要特点
这是一款红外灯管加热的RTP快速升温管式炉,石英管直径为20mm,可用于小样品实验。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型,表面涂覆高反射率的超高温保护涂层,不仅能够保持其能量的损耗,还能增强高温稳定性,可有效减少热能损耗 ,使温场均匀。气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启,加热面板上2块宇电仪表,分别控制炉膛内温度和出气端配有辅助加热器,保证出气温度,满足客户不同的温度要求。进气端装有2路浮子流量计,可选择单独或混合进气。
技术参数
额定功率 | 10KW |
额定电压 | AC220v 50/60 Hz |
炉管尺寸 | 高纯石英管Φ20*2*500mm |
温度 | 1200℃ |
额定温度 | 1100℃ |
稳定状态温度范围 | 100~1050℃ |
温度测量精度 | ±0.2℃ |
温度控制重复性 | ±1℃ |
温度控制精确度 | ±1℃ |
温度均匀性 | ±2℃ |
升温效率 | 30℃/s |
加热区长度 | 230mm |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
传感器类型 | K型 |
法兰接口 | 进气为Φ6卡套 |
浮子流量计 | 10-100ml/min 16-160ml/min(可选) |
标准配置 | 石英管1根,不锈钢密封法兰套,硅胶密封圈套,高温手套副;121 |
可选附件 | 石英坩埚,石英炉钩,手动挡板阀,波纹管,真空泵,电阻真空计,混气系统 |