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1200℃双温区CVD系统（低真空、高真空）型号：BTF-1200C-II-CVD
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主要特点
1、保温材料采用真空吸附成型的氧化铝纤维无机材料，环保节能，不含污物，洁净，美观。
2、采用模糊PID控制，智能PID精准控制，温场均匀。
3、箱式炉顶部配置排气装置。
4、炉门向左打开，右侧面加装一个宝塔嘴进气口。
技术参数
| 腔体尺寸（长*宽*高） | 200*300*120mm |
| 外形尺寸（长*宽*高） | 440*510*520 |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 温场均匀性 | ±3℃ |
| 控温热电偶 | K型 |
| 建议长期工作温度 | 200-1100℃（目标温度反冲≤3℃） |
| 温度 | 1200℃ |
| 控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 额定电压 | 220V |
| 额定功率 | 2.5KW |
