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1200℃双温区CVD系统(低真空、高真空)型号:BTF-1200C-II-CVD
面议双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
面议纳米线生长专用设备
面议碳纳米纤维膜系统 BTF-1400C-CN-80
面议流化床—粉体碳纳米管生长设备
面议连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
面议回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
面议分体式升华设备将热场置于手套箱(简易款)
面议半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪(试验级)
面议实验级升华仪BOF-7-100(新款)
面议实验级升华仪BOF-5-50
面议升华仪 BOF-7-100
面议进口分子泵机组VAU-05
该系统由德国的前级无油泵,后级分子泵,真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成,此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体,以便在封闭容器中形成真空和压力,吸入气体中允许混有少量液体。它被广泛用于新能源材料,金属材料,磁性材料,半导体材料,陶瓷材料,电化学,薄膜材料,CVD,PECVD ,石墨烯,硅纳米管,纳米线,等研究领域。由于在工作过程中,气体的压缩是等温的,所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时,不易发生危险,因此其应用更加广泛。
品牌 | 德国 莱宝 LEYBOLD() |
干/湿 | 无油的干式真空泵组 |
分子泵抽速 | 65 L/s |
前级泵抽速 | 0.7 m³/h |
极限压力 | 10-7 mbar |
启动时间 | 1.5 min |
进气口 | DN63 ISO-K |
冷却方式 | 空 冷 |
电压 | 单项,220V |
额定功率 | 300 W |
重量 | 14.5 Kg |
泵体体积 | 250*356*357 mm |