品牌
经销商厂商性质
合肥市所在地
1200℃双温区CVD系统（低真空、高真空）型号：BTF-1200C-II-CVD
面议
双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
面议
纳米线生长专用设备
面议
碳纳米纤维膜系统 BTF-1400C-CN-80
面议
流化床—粉体碳纳米管生长设备
面议
连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
面议
回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
面议
分体式升华设备将热场置于手套箱（简易款）
面议
半导体前驱体提纯仪/药品提纯仪/去金属离子提纯仪（试验级）
面议
实验级升华仪BOF-7-100(新款)
面议
实验级升华仪BOF-5-50
面议
升华仪 BOF-7-100
面议| 基本信息 | ||
| 项目 | 参数 | 备注 |
| 基板尺寸 | 100x100mm/25x25mm | 根据基板定制 |
| 旋转速率 | 0-30 rpm |
|
| 基板高度调节 | 0-150mm |
|
| 设备整体尺寸 | 760x620x2100mm |
|
| 蒸发舟数量 | 6个 |
|
| 低温蒸发源 | 5-10cc @400℃ |
|
| 高温蒸发源 | 5-10cc @1200℃ |
|
| 前级泵 | 6.2 m3/h 干泵 | 可选配 |
| 主泵 | 260 L/s 分子泵 | 可选配 |
| 本底真空度 | 9E-7 Torr |
|
本系统可满足工艺过程验证有机及金属材料，满足研究过程中对于材料真空蒸镀的初期性能参数确认，并可满足两种材料共蒸。
