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1200℃双温区CVD系统（低真空、高真空）型号：BTF-1200C-II-CVD
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双温区滑轨式PECVD系统PECVD-II-500A
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纳米线生长专用设备
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流化床—粉体碳纳米管生长设备
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连续进出料等离子体增强回转PECVD设备-BTF-1200C-RP-PECVD
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回转CVD设备 BTF-1200C-V-R-280
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分体式升华设备将热场置于手套箱（简易款）
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实验级升华仪BOF-7-100(新款)
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实验级升华仪BOF-5-50
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升华仪 BOF-7-100
面议| 基本信息 | ||
| 项目 | 参数 | 备注 |
| 基板尺寸 | 200x200mm/100x100mm |
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| 旋转速率 | 0-30 rpm |
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| 基板高度调节 | 0-150mm |
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| 设备整体尺寸 | 4000x7000x2300mm |
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| 蒸发舟数量 | 根据使用情况具体设计 |
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| 低温蒸发源 | 5-20cc @400℃ |
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| 高温蒸发源 | 5-40cc @1400℃ |
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| 前级泵 | 20000L/min 干泵 | 可根据工艺选配 |
| 主泵 | 1700 L/s 分子泵 | 可根据工艺选配 |
| 本底真空度 | 9E-7 Torr |
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本系统可满足真空洁净环境下制作OLED相关器件，可配套器件验证，从而整体验证OLED材料性能。
