用途和特点：
       XQ15-G3实用型激光平面干涉仪在保留XQ15-G1激光平面干涉仪的用途及特点的状况下，更具实用性，可更广泛适用于大批量生产单位的生产车间。检验车间的平面度、微小楔角测量，更适合于大平板生产流水线快速筛选的应用。
技术参数：
标准平面（A面），工作直径D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二标准平面（B面），工作直径D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
准直系统----------------－工作直径Φ146mm，焦距 f = 400mm
光源规格----------------－激光ZN18(He-Ne)
干涉室尺寸----------------530×270×150mm