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用途:
本司自行设计、制作的XQ60-G1型便携式激光平面干涉仪近期己完成样机的总装与调试。该仪器的投放市场限度地减轻了操作人员的工作强度;更适用于大批量生产的检验;配以计算机可直接将被检测镜面的原始资料通过计算机保存和传输,以达到资料存档及远程监控、验收评定质量的目的,是国产激光平面干涉仪产业新的发展。
技术参数:
标准平面(A面),工作直径D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二标准平面(B面),工作直径D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
准直系统 ——————————————— 工作直径Φ60mm,焦距f=200mm