峰值抽速 (60 Hz)

110 L/m，6.6 m3/h，4.0 cfm

峰值抽速 (50 Hz)

90 L/m，5.4 m3/h，3.3 cfm

极限真空

5.0 × 10-2 torr (6.6 × 10-2 mbar)

大进气口压力

1 atm (0 psig)

大出气口压力

1.5 atm (7.5 psig)

进气口连接

NW25 KF 法兰

排气口连接

1?4 英寸内螺纹 NPT

排气口连接转接头

提供 NW16 KF 适配器

气镇连接

1?8 英寸内螺纹 NPT

工作环境温度

5 到 40 ℃（41 到 104 °F）

储存温度

-20 到 60 ℃（-4 到 140 °F）

电动机额定功率

0.25 马力 (0.19 kW)

电源

1 相，50-60 Hz
100 - 115/200 - 230 VAC

电机过热保护

自动

转速

60 Hz 时 1725 RPM
50 Hz 时 1425 RPM

冷却

风冷

重量

19.5 kg（43 磅）

限制

无腐蚀性、无爆炸性、无颗粒气体

漏率（排气口密封）

<1 × 10-7 std-cc/s 氦气

法规认证

符合 CE、CSA 和 SEMI S2-2000