agilent(原varian）扩散泵，扩散泵的*，作为为*范围内的扩散泵供应商，为客户提供口径从2英寸到35英寸范围内各种扩散泵，是美国的一个全系列的扩散泵供应商。产品具有大抽速，高排气量等特点。 适用于真空度在10-1~10-8mbar之间。
agilent(原varian）扩散泵作为的扩散泵制造商，安捷伦拥有面的扩散泵产品线，直径从 2 英寸至 35 英寸不等。该扩散泵于批量生产，可以在高压、高负载条件下保持很大的抽气能力，并能适应大批量生产中常见的气体负荷变化情况。优化的泵设计使得单位功率可以提供大的抽气量，并降低了对冷却水的要求。此外，坚固耐用的不锈钢构造也可以将总拥有成本降至低。该泵操作维护简单，地延长了正常工作时间，并且有优秀的安捷伦应用和技术支持团队提供支持。应用包括高真空应用、真空炉、涂覆、薄膜沉积和分子束外延。
agilent(原varian）扩散泵特点：
1、 大抽速、大抽气量
2、抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.
3、高前级耐压
4、高极限真空度
5、 返油量极低
6、 超常的使用寿命
agilent(原varian）扩散泵技术参数：
| 型号 | AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | | 抽速空气，L/s | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 大前级耐压Torr/mbar
没有负载
有负载 |
0.75/1.0
0.6/0.78 |
0.55/0.72
0.4/0.52 |
0.65/0.86
0.55/0.73 |
0.65/0.85
0.55/0.72 |
0.65/0.85
0.55/0.72 | | *前级泵抽速m3/hr | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 | 返油率mg/cm2/min
标准冷带 | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | | 启动时间（min） | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 | | 电源 | 1ph,50Hz,
220V | 1ph,50Hz,
240V | 1ph,50Hz
240V | 1ph,50Hz,
240V | 3ph,50Hz,
240V | | 功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | | 冷却水l/hr,15-26°C | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 |
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| |
| 型号 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-32 | NHS-35 | | 抽速空气，L/s | 3650 | 4500 | 6000 | 17300 | 28000 | 大前级耐压Torr/mbar
没有负载
有负载 |
0.65/0.85
0.55/0.72 | 0.65/0.85
0.55/0.72 | 0.65/0.82
0.55/0.72 | 0.50/0.65
0.35/0.45 | 0.55/0.71
0.40/0.52 | | *前级泵抽速m3/hr | 30/51 | 30/51 | 80/136 | 300/510 | 300/510 | 返油率mg/cm2/min
标准冷带 | 5×10-4 | 1×10-3 | 1.5×10-3 | 7×10-4 | 5×10-4 | | 启动时间（min） | 15 | 30 | 45 | 60 | -- | | 电源 | 3ph,50Hz,
380V | 3ph,50Hz,
380V | 3ph,50Hz,
380V | 3ph,50Hz,
380V | 3ph,50Hz,
380V | | 功率 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 24000 | 24000 | | 冷却水l/hr,15-26°C | 0.4/80 | 0.4/80 | 1.5/300 | 4.0/800 | 4.0/800 |
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