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HP-200 柜式热板
具体成交价以合同协议为准
2024-08-12上海
- 型号
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产品简介
HP-200 热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中，为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认可以达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差，可达到非常高质量的工艺水平。HP 系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可处理 200 × 200mm 尺寸的基片。 热板加热表面有玻璃盖板，方便清洁。有此设计，也可大限度降低维护成本。因此，SAWATEC 热板是实......
详细信息
产品功能
● 数字温度控制及实时温度显示
● 重复工艺的快速启动
● 自动温度限幅开关，避免过热
● 加热工艺可编程多段式，每个工艺可设置 20 段
● 电动升降式载片顶针
● 配备安全玻璃，也方便清洁
● 热板快速调平，避免光刻胶流动
● 用户操作的工艺参数配置界面以及触摸屏
● 基片通过真空吸附固定
● 手动上下片
性能参数
● 均匀加热区域：200mm × 200mm
● 温度范围：室温到 250℃
● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/- 0.6℃
● 电动驱动顶针的升降
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