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为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
现有的性能、的仪器
采用集成的方法提高系统效率和正常运行时间的涡轮分子泵
将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
通用电子器件接口并配有操作简单的控制软件模拟 I/O 信号以及 RS232/RS485 接口等标准配置
安捷伦 Profibus 接口
技术规格
抽速: | N2:1600 L/s | |||
压缩比: | N2:3 × 105 | |||
极限真空*(使用推荐的前级泵) | < 1 × 10-8 mbar | |||
入口法兰 | ISO 250F | |||
前级管道法兰 | KF 40 NW | |||
额定转速 | 33000 rpm | |||
启动时间 | < 7 分钟 | |||
推荐的前级泵 | > 40 m3/h | |||
工作位置 | 任意位置 | |||
操作环境温度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |||
电源 输入电压 输入频率 | 100–240 Vac 50-60 Hz | |||
通讯接口 | 模拟 I/O RS232/RS485 Profibus | 标准 标准 可选 | ||
尺寸 | 高度 重量 直径 | 335 mm(13.18 英寸) 335 mm(13.18 英寸) 35 kg(77 磅) |