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Agilent Agilent 安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵

具体成交价以合同协议为准

2023-10-16苏州市
型号
Agilent
参数
品牌:Agilent/安捷伦
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产品简介
类型:涡轮分子泵品牌:Agilent型号:Turbo-V 3K-G描述:Agilent 安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵
详细信息

Turbo-V 3K-G涡轮分子泵

Turbo-V 3K-G(如 V 2K-G 一样)不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高纯氩气氛围下和温度的环境中。此外,它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 3K-G 涡轮分子泵成为镀膜工业泵解决方案。
特性
  • 市场上仅有的真正“一体化”系统

  • 同类产品中抽速

  • 无油、耐用、可靠

  • MTTF 超过 200000 小时

  • 转子设计大幅度降低了重量和机械应力

  • 拥有的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力

技术规格






抽速:
N2:2200 L/s
He:1900 L/s
Ar:2050 L/s

压缩比:N2:> 1 × 107He:6 × 103Ar:1 × 108
极限真空*(使用推荐的前级泵)< 1 × 10-8 mbar


入口法兰ISO 250F


前级管道法兰KF 40 NW


额定转速31800 rpm


使用推荐前级泵,无气体负载的启动时间< 6 分钟


前级压力< 0.5 mbar


推荐的最小前级泵> 60 m3/h(取决于气体流速要求)


工作位置任意位置


冷却要求


重量 ISO (250)52 kg(114.63 磅)







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产品参数

品牌 Agilent/安捷伦
提示

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