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创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比,而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统占用空间。
高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。
安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动,低噪音,的轴承工作条件,延长泵的使用寿命,实现使用维护成本优化,减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。
的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。
铜制水冷通道(可选) — 可避免腐蚀,优化热传递性能,降低用水量和使用维护成本。
抽速: 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160: | N2:250 L/s N2:250 L/s | He:255 L/s He:255 L/s | H2:220 L/s H2:220 L/s | Ar:250 L/s Ar:250 L/s |
全转速气载(使用推荐前级泵) 环境温度 (25 °C) 水温 (25 °C,50 L/h) | N2:170 sccm N2:170 sccm | Ar:110 sccm Ar:110 sccm | ||
压缩比与前级压力关系: | N2:> 1 × 1011 N2:> 10 mbar | He:> 1 × 108 H2:> 10 mbar | H2:1.5 × 106 H2:> 4 mbar | Ar:> 1 × 1011 Ar:> 10 mbar |
极限真空*(使用推荐的前级泵) (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
抽气口法兰 | 8 英寸外径 CFF 2.6 英寸外径 CFF | ISO 160 ISO 100 | ||
前级管道法兰 | KF 16 NW(KF25 — 可选) | |||
转速 | 60000 rpm(1010 Hz 驱动频率) | |||
启动时间 | 小于 3 分钟 | |||
推荐的前级泵 | 机械:Agilent DS 102 干泵:Agilent SH 110 | |||
工作位置 | 任意 | |||
操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空气相对湿度 | 0%–90%(无冷凝) | |||
烘烤温度 | 抽气口法兰温度 120 °C(CFF 法兰)抽气口法兰温度 80 °C(ISO 法兰) | |||
润滑油 | 性润滑 | |||
冷却要求 | 风扇冷却(环境温度 5–35 C) 水冷(如果环境高于 35 ℃,需强制水冷) | |||
冷却水 | 最小流速: 50 L/h (0.89 GPM) | 温度: +15 ℃ 至 +30 ℃ | 压力: 3 至 5 bar(45 至 75 psi) | |
噪声声压级 | 在 1 米处,< 50 dB(A) | |||
储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
海拔 | 3000 m | |||
重量 kg(磅): | 泵 ISO 100: 5.5 (12.3) | 泵 CFF 6 英寸: 7.5 kg (16.5) | 泵 ISO 160: 5.7 kg (12.6) | 泵 CFF 8 英寸: 9.7 kg (20.9) |