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多工位磁控溅射镀膜机
具体成交价以合同协议为准
2023-01-14深圳市
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产品简介
多工位磁控溅射镀膜机可同时放置多片基片，适应研发线或中试线的小批量生产
详细信息
多工位磁控溅射镀膜机可同时放置多片基片，适应研发线或中试线的小批量生产。矽碁提供的可公转基片载台方便客户灵活调整各基片对应不同靶位。预装矽碁自主研发的工业级全自动控制系统，设备可按预设工艺流程进行自动生产。工艺重复性优于 ±3%，有效保证生产稳定性。
技术参数：
1 本底真空10-7 Torr；
2 多基片设计，数量、尺寸可定制；
3 基片台可公转、自转并加热：300℃/500℃/800℃；
4 最多可拓展6支磁控溅射靶枪，6个工位；
5 靶枪溅镀距离可调，可升级强磁靶；
6 防交叉污染遮板设计；
7 可配备样品预清洗功能；
8 可配备快速进样室；
9 可配备自动压力控制系统；
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