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超高真空磁控溅射镀膜机
具体成交价以合同协议为准
2023-01-14深圳市
- 型号
产品简介
矽碁超高真空磁控溅射镀膜机采用国际UHV配件及金属密封件，本底真空可达到10-9~10-10Torr量级
详细信息
矽碁超高真空磁控溅射镀膜机采用国际UHV配件及金属密封件，本底真空可达到10-9 ~ 10-10 Torr量级。在超高真空环境下制备出的薄膜材料含氧量低、晶粒性更为明显，广泛适用于超导结、量子器件和自旋电子学的研究开发。
技术参数：
1 本底真空可达10-9 ~ 10-10 Torr；
2 单基片设计，尺寸可定制；
3 基片可旋转并加热：300℃/500℃/800℃；
4 最多可拓展8支磁控溅射靶枪，共溅射；
5 靶枪角度可调，溅镀距离可调，可升级强磁靶；
6 防交叉污染隔板设计；
7 可配备离子束辅助沉积；
8 可配备样品预清洗功能；
9 可配备快速进样室；
10 可配备自动压力控制系统；
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