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手动镀膜系统
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2023-01-14深圳市
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产品简介
手动磁控溅射系统适用于本科生教学，研究生科研训练，也可以应用于科研工作
详细信息
手动磁控溅射系统适用于本科生教学，研究生科研训练，也可以应用于科研工作。该款设备适用于磁控溅射，也可以装配电子束蒸发，热蒸发源等，用户可根据需求来选择配备。
技术参数：
1 本底真空：10-7 Torr；
2 单基片设计，尺寸可定制；
3 基片可旋转并加热：300℃/500℃/800℃；
4 溅射：1-3支磁控溅射靶枪，可共溅射；
5 电子束蒸发：4-6坩埚
6 热蒸发：最多6蒸发源，包括有机物蒸发源；
7 可连接手套箱
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