压电纳米定位平台-电子/半导体检测仪器

PSVL30-100U-S系列压电纳米定位平台-电子/半导体检测仪器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2017-08-11 09:48:34
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上海纳动纳米位移技术有限公司

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产品简介

· 集成化紧凑的设计· 无机械摩擦的柔性铰链设计· Z向运动范围zui高可达100μm· 可选择SG传感器位置反馈

详细介绍

 

技术数据:

型号

Model No.

PSVL36-100U-S

Axes

Z

伺服特性

Servo

SG

行程范围

Travel range

(@120V)

闭环

Closed loop

80μm

开环

Open loop

80μm

分辨率

Resolution

5nm

重复定位精度

Repeatability

0.05%F.S.

线性度

Linearity

0.2%

俯仰/偏航/滚动

Pitching/Yawing/Rolling

1” / 2” / 1”

承载能力

Load capacity

12N

谐振频率

Resonant frequency

0g

300Hz

刚度

Stiffness

0.3N/μm

静电容量

Capacitance

1.6μF

线缆长度

Cable length

1.5m

尺寸(LxH

Dimensions

36*36*20mm

重量

Weight

80g

本体材质

Body material

钢/铝(B)

Steel/Aluminum

表面处理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[(W)White alumite /(B)Black alumite ]

 外形尺寸

详情登陆:www.nanomotions。。com,进行查阅

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