日本YAMATO等离子清洗机MPC600

MPC600日本YAMATO等离子清洗机MPC600

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-09-28 09:23:08
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安捷来国际股份(香港)有限公司

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产品简介

日本YAMATO等离子清洗机MPC600

详细介绍

日本YAMATO等离子清洗机MPC600:

MPC600
  • RIE • DP mode
  • Electrode stage - up to6inch
  • RF power is up to MAX. 600W
  • One touch control
  • Made of quartglasschamber

Specifications

Model MPC600
Method RIE •DPmode
Electrode Aluminumroundtype
RFgenerator 50 - 600W
Oscillatingfrequency 13.56MHz
Controlsystem Digitaldisplaywith one touch operation
Chamber Adapted for 6inchwafer
Chambermaterial SUS
Reactiongas O2,Ar,CF4
Purge gas N2 orDryair
Flow meter Massflowcontrol
Vacuumpump 5000L/min
Gas system 2 line(Reactiongas) , 1 line (Purge)
Externaldimension (W)650 x (D)700x(H)1,480mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 25A

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