气体质量流量控制器（流量计）Mass gas flow controller（meter）缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点：

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域：

半导体制造行业的气体流量控制；

分析仪器设备的气体计量与控制；

各种形式的真空镀膜设备；

环境检测与分析设备；

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

特种材料表面处理装置与燃烧控制；

混气配气系统和泄露探测系统等。

2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号

S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)，S49为质量流量控制器(流量计)产品，32/MT为本公司此产品设计序列号。

质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量；

质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体的质量流量功能。

型式批准证书：2011F215-11

执行Q/CYHMT001-2011企业标准

许可证编号：京制01050063号

3.主要技术指标

质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM行业标准)

L/min （升/分钟）。  (SLM行业标准)

标准状态为：温度----273.15K（0℃）；

            气压----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示满量程值

表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标