编号

项目

S48 32/HMT

1

流量规格

(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min

(0～1,2,3,5,10，20，30，50)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装方向

任意

5

流量控制范围

2%～

6

流量测量范围

0～

7

零点温漂

±30mV（15℃～35℃）

8

响应时间

2S（T98，设定值的±2% F.S）

9

工作环境温度

5℃～50℃

10

精度保证温度

15℃～35℃

11

精度

±1.0%F.S

12

线性精度

±0.5%F.S

13

重复性

±0.2%F.S

14

工作压差

＜10L/min (50～300)kPa，其余规格(100～300)kPa

15

耐压

3MPa

16

泄漏率

1×10^-8 Pa•m³／s （He）

17

接触气体材料

316L、PTFE、Viton氟橡胶

18

管路接头

1/4Swagelok,Φ6～Φ10

19

供电电源

±15VDC(±5%)。  +15V＜100mA,-15V＜150mA

20

设定信号

(0～5)VDC    输入阻抗＞1MΩ

21

流量输出信号

(0～5)VDC     负载能力≤3mA

22

电气接头

D-SUB15

23

外形尺寸mm

113(宽)×121（高）×32（厚）

24

重量(Kg)

0.94