产品简介
主要用于COB金线绑定前处理，IC方面的BGA、WAFER表面清洁，去除氧化膜、有机物；太阳能电池生产中的蚀刻、清洗；LCD、LCM方面的表面清洁，去除有机物，防止ITO导电下班腐蚀；高分子材料改性；SMT方面的表面清洁；去除有机物，增强可焊性等；
详细介绍
Tetra-100-LF-PC标准型规格参数
1.外形尺寸
W1000mm × H1800mm × D1000mm
2.等离子反应舱
W400mm × H400mm × D625mm
舱体容量：约 100升
3.射频频率
40KHz / 0-2500W 连续可调
4.控制系统
基于微软操作系统的工业PC控制 全自动/手动
5.电极和托盘
1-10层电极和托盘（可选择旋转舱体）
6.真空泵
二级旋片真空泵 zui低抽速：40m3/h
真空泵可使用氧气O2 油污过滤器
7.参数
停泵压力、处理压力、气体流量、稳定时间
射频功率、处理时间、停止时间
8.特点
压力数字显示、处理终止报警、真空安全开关、
舱门安全开关、压缩气体压力传感器、信号灯、
远程控制接
9.供气系统
2通道气体质量流量计
10.电源：AC 400V/16A
