Hl霍尔效应测试系统
NANOMETRICS HL5500PC
1.可测试半导体材料及外延层材料电阻系数，载流子浓度
及迁移率
2.应用材料：Si、Ⅲ-Ⅴ、Ⅱ-Ⅵ和宽禁带半导体材料CIGS铜
铟镓锡薄膜
3.无需对Sample加工，即可Van Der Pauw、Bar、Bridge三
种形式测试
4.使用*磁场：磁场强度0.32T±1%，十年内漂移率小于
0.1%，中心25mm内磁场均匀度小于±1%，磁场强度选择
0.1/0.2/0.4/0.5T
5.可测试高达100GΩ之样品
6.可选配90～500K、室温-600℃，LHe液氦温区4K或10K之变
温测试平台
