中国台湾日扬APC蝶阀使用浅析

中国台湾日扬（Htc）自动压力控制APC蝶阀，是整合真空腔体压强反馈与马达控制技术的真空阀门，可以快速调节真空腔体制程压力，*隔绝真空侧和大气侧，APC蝶阀具有外形尺寸小、使用寿命长、易维修等特点，搭配Htc的APC软件，可以简单快速地设定并监控制程压力。

APC蝶阀，广泛应用于半导体、光电产业、太阳能产业、CVD制程等行业，安装在真空泵组与真空制程腔室之间，通过真空计反馈的电压值控制蝶阀密封板开度大小，从而达到调节腔室压力的目的。

本次实际使用的蝶阀型号是ISO63BFVC/RS485，通过自带的软件，可以进行如下功能的设定：阀门位置、真空压力、目标压力、JOG+、OPEN全开、CLOSE全闭、JOG-、HOLD（马达锁定，所有命令无效）等。

真空计的设定，重新设定压力范围（例如讲0.1Torr改为1Torr）后，要关掉软件，再重新打开软件，更改设定才会有效。对应真空计0-10V的设定压力值，具有线性特性。

马达的PID调节，将I=0.1，D=0，调整P参数有1增加到马达有震动之后将该值除以2，则为P之设定值。

使用RS485接口时，两次讯息之间必须间隔7个字节以上的时间。

整个过程，调试方便顺利，控制精度高、反应迅速，整个工况让客户非常满意！

深圳市科锐诗汀科技有限公司，集中国台湾日扬（Htc）真空阀门、真空腔体、真空管件、英福康（Inficon）真空计、检漏仪、晶振片、安捷伦（Agilent）真空泵于一体的真空系列产品提供商，竭诚为真空行业提供高质量的产品和服务！

作者：深圳市科锐诗汀科技有限公司销售部

备注：以上文章内容为相关说明书节选