日扬矩形阀在分子束外延设备MBE上的应用

国际上比较专业的大型MBE设备供应商主要有，美国的Vecco，法国的Riber，芬兰的DCA等。这几家从实验室用的小型MBE，到工业相关的英寸级别的圆晶MBE都有供应。并且能提供一定的工艺解决方案。

一些超高真空表面科学的供应商，因为用户有进行MBE生长的需要，也会提供MBE解决方案，比如德国/瑞典的Scienta Omicron，德国的Createc，波兰的PreVac等。其中，Scienta Omicron的产品线更全一些，从10*10 mm到圆晶都有，印象中其他几家集中在科研用10*10 mm上。这几家供应商一般不能提供生长工艺上的支持。

还有一家比较特殊的是德国的Dr. Eberl MBE-Komponenten，印象中只在科研界见过他们的产品，在企业专注在MBE上，也是10*10到圆晶都有。并为部分其他供应商提供源炉。

最近欧美对中国的MBE系统的出口审查日趋严格，于是国内从事MBE制造的企业就有了进步的动力，北京的中科艾科美、上海费勉、上海实路、大连齐维、苏州华阳赛斯、沈阳科仪、常州国成、苏州焜原等。都在使用或者选型日扬的矩形阀门。

最终MBE产品的质量和上下游产业也密切相关。追求极限真空时，腔体本身的钢材品质和放气程度就变得重要，这是和整个工业体系相关的。其中，日扬的矩形真空阀门质量YILIU，经受了市场的反复检测，值得信赖！

MBE可能是超高真空设备中WEIYI和实际生产联系紧密的。MBE技术最大的优点是生长速度慢、结构控制精确。但这同样也是它最大的缺点，对工业生产来说，它实在太慢了。也许只能通过生长高附加值产品，或者多台设备同时开工来克服了这一短板，日扬真空阀门现在有优惠的批量价格，降低设备成本，满足市场的需求！

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作者：深圳市科锐诗汀科技有限公司真空技术中心

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