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宏微复合机构
P83.X一维X向压电宏微复合台，宏微复合机构是通过宏动调节测微头与压电微动调节机构完成大范围精密定位需求。
配套宏动台可以组成1-3维大行程位移台
通过测微头与压电微调机构相结合的方式实现宏微复合机构，宏微复合机构可以与宏动平台配合使用，组成大行程高精度压电平移台。
供货周期
2~3周发货
P83.X一维X向压电宏微复合台参数介绍
| 型号 | P83.X25S | P83.X25K | 单位 | |
| 运动自由度 | X | X |
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| 行程范围 | 13mm+28µm | 13mm+28µm | 粗调+精调 | |
| 平直度 | <3 | <3 | µm/13mm | |
| 重量 | 500 | 500 | g±5% | |
| 壳体材料 | 钢 | 钢 |
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| 外形尺寸（长×宽×高） | 114×80×23 | 114×80×23 | mm×mm×mm | |
| 手动调节部分-千分尺 | ||||
| 粗调行程范围 | 13 | 13 | mm | |
| 粗调分辨率（千分尺） | 10 | 10 | µm | |
| 导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱导轨 |
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| 驱动方式 | 螺纹副（分厘卡） | 螺纹副（分厘卡） |
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| 千分尺灵敏度 | <2 | <2 | µm | |
| 台面尺寸 | 65×65 | 65×65 | mm×mm | |
| 千分尺读数 | 10 | 10 | （微米/格） | |
| 千分尺螺距 | 0.5 | 0.5 | mm/rev. | |
| 压电驱动精调部分-压电驱动 | ||||
| 精调行程范围 | 0~120 V, Nominal | 20 | 20 | µm±20% |
| -20~150 V, Max | 28 | 28 | µm±20% | |
| 传感器类型 | SGS | - |
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| 步进/分辨率 | 1.5 | 0.5 | nm, typ. | |
| 闭环线性度(压电驱动) | 0.2 | - | %F.S. | |
| 重复定位精度 | 0.1 | - | %F.S. | |
| 运动方向推力 | 20 | 20 | N | |
| 刚度 | 2 | 2 | N/µm±20% | |
| 承载能力（Z向）* | 1000 | 1000 | g | |
| 工作温度范围** | -20~80 | -20~80 | °C | |
| 静电容量 | 1.8 | 1.8 | µF±20% | |
| 重量（含载物平台） | 400 | 400 | g±5% | |
| 出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
| 传感/电压连接器 | LEMO | LEMO |
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*若将此宏微复合台作为Z向移动平台使用，它的承载能力将减小，约600g。
**可定制低温版本及高真空版本。
注：以上所提参数与测试环境及测试设备有关。参数更新不予通知，具体请与销售工程师联系确认。
