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P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台 产品特点
X轴行程 18μm/ 轴
开 / 闭环可选
Z 向行程 8μm
开 / 闭环可选
真空版本可选
技术参数：
型号 | S-闭环 K-开环 | P63.X18Z8S | P63.X18Z8K | 单位 |
运动自由度 | X、Z | X、Z | ||
驱动控制 | 2路驱动，2路传感 | 2路驱动 | ||
标称行程范围（0 ~+120 V） | X:16, Z:6 | X:16, Z:6 | μm±10% | |
Max.行程范围（0~+150 V） | X:18, Z:8 | X:18, Z:8 | μm±10% | |
传感器类型 | SGS | - | ||
闭/开环分辨率 | X0.6 Z0.2 | X0.2 Z0.1 | nm | |
闭环线性度 | X:0.3, Z:1 | - | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.25 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | ≤15 | ≤15 | μrad | |
空载谐振频率 | X2/Z1 | X2/Z1 | KHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 8 | 0.5 | ms±20% | |
承载能力 | 0.5 | 0.5 | kg | |
静电容量 | X:1.8, Z0.8 | X:1.8, Z0.8 | μF±20% | |
工作温度范围 | -20~80 | -20~80 | °C | |
材质 | 铝 | 铝 | ||
出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
P63.X18Z8S P63.X18Z8K 压电纳米定位台 尺寸图
