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面议| 划痕深度 | ||
|---|---|---|
| 精细量程 | 量程 | |
| 位移 [μm] | 100 | 1000 |
| 位移分辨率 [nm] | 0.05 | 0.5 |
| 本底噪音 [rms] [nm]* | 1.5 |
| 法向载荷 | ||
|---|---|---|
| 精细量程 | 量程 | |
| 载荷 [N] | 10 | 30 |
| 载荷分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
| 本底噪音 [rms] [μN]* | 100 |
| 摩擦力 | ||
|---|---|---|
| 精细量程 | 量程 | |
| 摩擦力 [N] | 10 | 30 |
| 摩擦力分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
