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面议| 电阻率25℃ | >5MΩ﹒cm |
| TOC | <30ppb |
注：若从E-POD取用纯水，超纯水机可达到以下水质指标
| 颗料* | >0.2um/mL)*<1p/mL |
| 细菌* | <1cfu/mL |
| 热原(内毒素)** | <0.001 EU/mL |
| RNases** | <0.01ng/mL |
| DNases** | <4pg/mL |
Milli-Q超纯水机（从Q-POD取用，超纯水/I级水水质）
| 电阻率25℃ | 18.2MΩ﹒cm |
| TOC | <5ppb |
| 颗料* | (>0.22um/mL)*<1p/mL |
| 细菌* | <1cfu/mL |
| 热原(内毒素)** | <0.001 EU/mL |
| RNases** | <0.01ng/mL |
| DNases** | <4pg/mL |
