Union光学EMA-400台式面罩对准器打印机

Union光学EMA-400台式面罩对准器打印机

参考价: ￥10000

具体成交价以合同协议为准
2023-02-28 11:25:37
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产地:进口；加工定制:否；
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重庆津泽机电科技有限公司

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产品简介

Union光学EMA-400台式面罩对准器打印机
EMA-400 台式面罩对准器紧凑、高性能、低成本的桌面曝光系统，非常适合研发。该产品是一款节省空间、易于操作、高性能、低成本的掩模对准器，非常适合大学和企业实验室使用。

详细介绍

Union光学EMA-400台式面罩对准器打印机

Union光学EMA-400台式面罩对准器打印机

EMA-400 台式面罩对准器紧凑、高性能、低成本的桌面曝光系统，非常适合研发。该产品是一款节省空间、易于操作、高性能、低成本的掩模对准器，非常适合大学和企业实验室使用。该产品在同类产品中采用双物镜显微镜和积分镜头（照明系统），可实现高精度对准和打印。


面罩尺寸

 5 英寸

晶圆尺寸

φ4英寸

曝光照明

250W超高压汞灯

光学系统 积分器透镜系统

照度不均度±5%以下

照度 20mW/cm2 (405nm)

有效曝光范围 φ100mm

曝光：由数字定时器驱动的旋转螺线管

曝光模式

软接触，硬接触

解决

2 μm（用于硬接触）

对齐范围

双物镜显微镜

10x 物镜 x 2 (NA0.15 WD30mm)

物距 15 至 75mm

目镜 NWF10×（视场数 18）

整体放大倍数 100x

晶圆台

XY平台行程±5mm

θ旋转行程±5°

Z轴行程 0～4mm

对齐方式

通过移动晶圆台手动对准

对准精度

±3μm

安装尺寸

735(W)×490(D)×605(H)mm

安装重量

约90公斤

公用事业

电源 AC100V 15A 50/60Hz

真空度（压力）21.3kPa（大气压-80kPa）

N²气体或干燥空气（压力）0.2MPa以上



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