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Film Sense FS-1™ 多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。

大多数厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。

FS-1这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域

主要特点

l 4个LED光源：蓝色（465nm），绿色（525nm），黄色（580nm），红色（635nm）

l 椭偏仪探测器中无可移动部件

l 的膜厚精密性，大多数样品精密度优于0.001nm（1秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

l 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑

在线测量功能

自动Mapping系统

FS-1™多波长椭偏仪，带紧凑自动mapping样品台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量。

软件控制