FS新一代多波长椭偏仪

FS新一代多波长椭偏仪

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2024-05-06 20:29:25
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产品简介

FilmSense新一代多波长椭偏仪系统现已问世

详细介绍

Film Sense新一代多波长椭偏仪系统现已问世Film Sense FS-1EXFS-1UV椭偏仪测量薄膜的功能更强,波长更长,光谱范围也更广。新一代椭偏仪系统既拥有* FS-1技术的相同特点(经久耐用的LED光源,快速可靠无移动部件探测器,紧凑的设计以及浏览器软件界面),同时具备易用性和可性。

 

产品特点及规格

FS-1EXTM 椭偏仪

6 条波长,光谱范围405–950 nm

微型光学器件光源137 x 80 x 60 mm探测器110 x 80 x 60mm

FS-1相比强度增加4倍以上

2较长波长(850和950 nm)可以测量更厚的透明薄膜(厚度可达5μm)以及吸收性薄膜(如多晶硅、SiGe、非晶硅等)

2较长波长也提高了对薄膜电阻率测量

6波长和更宽的光谱范围强化了测量多层膜堆的能力

 

FS-1UVTM 椭偏仪

6条波长,光谱范围280–660 nm

微型光学器件光源137 x 80 x 60 mm探测器110 x 80 x 60mm

紫外波长(280 nm和305 nm)超过大多数半导体的间接带隙,增强合成物的敏感度

紫外波长也可以加强透明基片和薄膜折射率对比

 

FS-1TM(Gen. 2)椭偏仪

4波长,不同于FS-14条波长

微型光学器件光源和探测器110 x 80 x 60mm

略宽的光谱范围 (450–660 nm)

FS-1相比强度增加4倍以上 

精度提高2

更容易内部校准

测量0 - 2μm厚度范围内单层透明薄膜,精度可达0.001 nm

 

自动映射系统

FS-1EX多波长椭偏仪与小型自动映射系统组装快速、准确测量晶圆薄膜厚度均匀性。

6条波长的椭圆偏振测量数据(405450525660850950 nm),带经久耐用的LED光源以及无移动部件的探测器

大多数透明薄膜厚度地精确测量0 - 5μm

典型薄膜厚度重复性0.015 nm

集成聚焦探头,标准光斑尺寸0.8 x 1.9 mm(其他光斑尺寸可供选择)

可使样品自动校准电动z型台

灵活的扫描图形编辑器

测量参数的等高线和三维图

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