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椭偏振动光谱
利用红外光谱中分子振动模的吸收带,可以分析薄膜的组成。此外,载流子浓度可以用傅立叶红外光谱仪FTIR测量。
傅立叶红外光谱仪FTIR适用
集成赛默飞世尔Thermo Fisher制造的型号FTIR iS50红外光谱仪。它也适用于一般的振动光谱。
光谱椭偏仪SENDIRA用于测量薄膜厚度,折射率,消光系数以及体材料,单层和多层堆叠膜的相关特性。特别是覆盖层下面的层在可见范围内是不透明的,现在也可以进行测量。同时可以分析材料的组成和大分子基团和分子链的走向。
SENTECH光谱椭偏仪SENDIRA是专门为红外应用(FTIR)设计的。紧凑型测量台包括椭圆仪光学部件,计算机控制角度计,水平样品台,自动准直透镜,商用FTIR和DTGS或MCT探测器。FTIR在400 cm-1 ~6,000 cm-1 (1.7 µm – 25 µm)光谱范围内提供了的精度和分辨率。
光谱椭偏仪SENDIRA主要用于薄层的振动光谱分析。应用范围从介质膜、TCO、半导体膜到有机膜层。SENDIRA是由SpectraRay/4 软件操作,另外还提供了FTIR软件。