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创新点
◎无二的光斑可视系统(技术): Auto SE 集成了无二的MyAutoView光斑可视系统(技术),该系统配备在标准椭圆偏振光谱仪中,允许操作者全程观测样品光斑,以确保各种类型的样品都能在*正确的位置,以合适的光斑尺寸进行测量。解决了现有测量技术中的“盲测”难题。
◎一键式操作,大大提高工作效率。
◎共焦微光斑技术: 提供8种不同光斑尺寸的自动选择。
◎全自动智能诊断及故障处理:大大减轻了设备的维护负担。
仪器简介:
新型的全自动薄膜测量分析工具,工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
技术参数:
·光谱范围:450-1000 nm
·多种微光斑自动选择
·光斑可视技术,可观测任何样品表面
·CCD探测器
·自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
·70度角入射
主要特点:
·*自动化设计,一键式操作,直接报告输出
·液晶调制技术,测量光路中无运动部件
·CCD探测系统,快速全谱输出
·多个微光斑尺寸选择,可视技术
·封闭式样品仓