纳米压痕测试仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等材料在纳米尺度上的接触刚度、蠕变、弹性、塑性、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

长春因赛图精密仪器设备有限公司研发及生产的“精密原位纳米压痕测试仪”是在吉林大学相关科研成果的基础上，针对*钢铁材料、航空航天等领域具体需求，凝练材料微观力学性能原位测试关键技术，设计而成。该测试仪可在机械主体上集成高景深3D显微成像组件、声发射探伤元件等材料性能原位测试模块，动态监测在复杂物理场作用下材料变形、损伤的整个过程，进而研究其微观组织变化及性能演变规律，更加接近于材料在实际使用过程中所处的条件，与常规单一载荷和理想环境下压痕测试仪相比，利用这种测试技术测量的材料力学性能数据更具有实际参考性，可以获取材料对复杂载荷条件和物理环境的响应特性，同时由于集成原位观测技术，可以进一步研究揭示材料的微观变形、损伤机理，为从根源上解决材料的变形与失效提供依据，从而为材料的设计和使用提供指导。

图1：精密原位纳米压痕测试仪

特点：
  采用压电致动器的载荷装置保证测量的精确度
  压电致动器作为压痕测试的精密驱动加载，可大行程压痕驱动
  在有隔振台、无恒温措施的实验环境下，压痕测试模块的载荷分辨率优于100nN，位移分辨率为0.05nm
  压痕测试模块具有良好的重复性和测试精度
  载荷加载范围大，可实现1N～50N载荷的加载
  配备控制主机，专用检测控制系统与配套分析处理软件
  软件包括实时显示测试过程中位移和载荷信号变化，并能够从中提取信号波动大小、显示生成实验曲线等功能
  可测量压入载荷-压入深度曲线、材料硬度、弹性模量等基本参量

技术指标：
  载荷力：5N、25N、50N（系列）
​​​​​​​  载荷分辨率：100nN    
​​​​​​​  试验力范围：2% ～ 99% FS
​​​​​​​  力测量精度：±1%
​​​​​​​  压痕深度：500μm、毫米级（系列）
​​​​​​​  位移分辨率：0.05nm
​​​​​​​  样品尺寸：毫米级