艾里卡特Alicat气体质量流量控制器 快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比，我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值，使其能够抑制管线压力波动，因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。
基于压力的质量流量仪表的性能：
在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
4 ms响应时间
无需预热
四个过程变量
内置的显示
工业协议
压力补偿
温度补偿
宽动态流量范围
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
可调比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校准精度（NIST可溯源）：±（1.5%读数+0.5%满量程）
可重复性：0.5%满量程
标准控制器响应时间常数：100ms（可利用PID调节功能调节）
预热时间：70ms，达到完整精度
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器工作条件
兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
工作温度：0°C至+50°C
内部压力（静态）：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
可调比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校准精度（NIST可溯源）：±（1.5%读数+0.5%满量程）
可重复性：0.5%满量程
标准控制器响应时间常数：100ms（可利用PID调节功能调节）
预热时间：70ms，达到完整精度
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器工作条件
兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
工作温度：0°C至+50°C
内部压力（静态）：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
可调比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校准精度（NIST可溯源）：±（1.5%读数+0.5%满量程）
可重复性：0.5%满量程
标准控制器响应时间常数：100ms（可利用PID调节功能调节）
预热时间：70ms，达到完整精度
艾里卡特Alicat气体质量流量控制器工作条件
兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
工作温度：0°C至+50°C
内部压力（静态）：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
