美国艾里卡特ALICAT氮气质量流量控制器 性能
可用量程:0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
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北京市所在地
美国艾里卡特ALICAT氮气质量流量控制器 可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。
多功能。MCT系列换流型气体质量流量控制器将单个气源用于两个独立的过程系统或者在单个过程系统中实现两个独立气源的切换。切换气源时,选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCT系列换流型气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。